东京精密CMP化学机械抛光设备ChaMP-211

东京精密公司是日本上市公司株式会社东京精密的子公司。主要从事东京精密集团生产的测量精密设备和半导体加工设备的销售及相关的售后服务工作。伴随着中国制造业的迅速发展、大数据的广泛应用，为了满足广大客户的需求，公司的研发部，为实现测量及半导体设备更高端的一体自动化功能而添砖加瓦。目前已经具备***售后服务体系，成熟的线上线下客户培训系统，及灵活多变的应用技术支持功能，配合东京集团生产的高***设备产品，定能为广大客户的生产系统保驾护航。

ChaMP-232（Chemical Mechanical Polishing 化学机械抛光）设备，适合的晶圆使用。融合了精密测量仪器和半导体制造设备的技术，完全满足***设备所需的工艺性能，并针对量产工厂的需求，推出了涵盖Φ200mm、Φ150mm、Φ100mm晶圆CMP系统(ChaMP系列)。