| 是否进口：是 | 原产国/地区：美国 | 加工定制：是 |
| 品牌：那诺-马斯特 | 电镀位置：溅射和蒸发 | 镀种：真空镀膜 |
| 镀膜原理：离子镀 | 型号：NPE-4000（A） |
NPE-4000（A）全自动PECVD等离子体化学气相沉积系统概述：NANO-MASTER PECVD系统能够沉积高质量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到z大可达6” 直径的基片上.该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子，具有分形气流分布的优势.样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。并可以支持加热和循环冷却水的冷却.使用250l/sec涡轮分子泵及3.5 cfm的机械泵，腔体可以达到低至10-7 torr的真空。标准配置包含1路惰性气体、3路活性气体管路和4个MFC.带有*气体分布系统的平面中空阴极等离子源使得系统可以满足广大范围的要求，无论是等离子强度、均匀度，还是要分别激活某些活性组份，这样系统可以覆盖z广的可能性来获得各种沉积参数。
NPE-4000（A）全自动PECVD等离子体化学气相沉积系统应用：
等离子诱导表面改性：就是通常所说的用等离子实现表面改性(如亲水性、疏水性等)
等离子清洗：去除有机污染物
等离子聚合：对材料表面产生聚合反应
沉积二氧化硅、氮化硅、DLC(类金刚石)，以及其它薄膜
CNT(碳纳米管)和石墨烯的选择性生长：在需要的位置生长CNT或石墨烯。
特点：
立式系统
自动上下载片，带预真空锁
不锈钢或铝制腔体
极限真空可达10-7Torr
RF淋浴头，HCD或微波等离子源
高达6”(150mm)直径的样品台
RF射频偏压样品台
水冷样品台
可加热到的800 °C样品台
加热的气体管路
加热的液体传送单元
抗腐蚀的涡轮分子泵组
z大可支持到8MFC
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动，4级密码访问保护
完整的安全联锁
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司，专注于为半导体行业提供全套的解决方案，主要服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，包含高校、科研院所、企业研发及工业客户，为客户提供国外高端的半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备等。 主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备、表面分析仪器、力学表征仪器、电学表征仪器等。 应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有***的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持水平的集成度。
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
| 统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
| 法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
| 营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；计算机系统服务；广告制作；广告发布；广告设计、代理；企业形象策划；专业设计服务；企业管理咨询；市场调查（不含涉外调查）；图文设计制作；项目策划与公关服务；会议及展览服务；信息技术咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；组织文化艺术交流活动；互联网销售（除销售需要许可的商品）；电子产品销售；计算机软硬件及辅助设备零售；实验分析仪器销售；仪器仪表销售；机械设备销售；半导体器件专用设备销售；第一类医疗器械销售；货物进出口；技术进出口；电子元器件与机电组件设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：建设工程施工；网络文化经营。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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