是否进口:是 | 原产国/地区:美国 | 加工定制:是 |
品牌:那诺-马斯特 | 电镀位置:溅射和蒸发 | 镀种:真空镀膜 |
镀膜原理:溅射镀膜 | 型号:NSC-4000(A) |
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到6"旋转平台,支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000(A)带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:
不锈钢腔体
260l/s或350l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统选配项:
RF、DC溅射
热蒸镀能力
RF或DC偏压(1000V)
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
应用:
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司,专注于为半导体行业提供全套的解决方案,主要服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,包含高校、科研院所、企业研发及工业客户,为客户提供国外高端的半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备等。 主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备、表面分析仪器、力学表征仪器、电学表征仪器等。 应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有***的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持水平的集成度。
点击查看>企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) |